2017年10月16日,尊龙凯时人生就是博半导体材料有限公司在02专项实施管理办公室指导下,组织专家组对“90nm/300mm 硅片产品竞争力提升与产业化” 项目及其5个子课题进行了任务和财务的内部验收。周旗钢副院长及尊龙凯时人生就是博半导体材料有限公司张果虎总经理出席验收会。参会人员还包括用户代表、项目责任专家、项目及课题负责人、会计师事务所项目主审、参与项目及课题的主要骨干等。02专项实施管理办公室许登超主任主持验收会议。依据02专项的验收实施细则,专家组听取了承担单位的报告和现场测试报告,审查了文档资料,核实了财务凭证,进行了质询和讨论,一致同意通过内部验收。
“90nm/300mm 硅片产品竞争力提升与产业化”项目针对90nm线宽集成电路要求,以下家考核上家的方式推动攻关,完成了300mm硅单晶生长技术、300mm硅片精密加工技术、300mm硅片外延技术、材料性能与器件关系研究以及300mm硅片应用评估研究等任务,并开展55nm线宽集成电路要求的相关硅片技术延展攻关,形成具有自主知识产权的成套300mm硅片技术,开发出300mm硅抛光片和300mm硅外延片两种新产品,实现了300mm硅片的连续批量销售,获得中芯国际、德州仪器等国内外知名半导体厂商的认证许可,建立了300mm硅片的技术研发团队、生产管理团队、市场开拓团队等。
该项目是下家考核上家模式的验证,填补了国内空白,获得科研成果和市场经济效应的双丰收,促进了项目单位的产品结构调整,带动了现有小尺寸硅片和超大直径硅单晶的技术进步。项目形成的产品可用于存储器、逻辑电路等,渗透到智能手机、计算机、大数据、工业自动化、物联网等领域,具有良好的市场前景。
与会专家指出,项目和各课题很好地完成了指标,知识产权成果丰富,但产业规模方面存在遗憾,项目单位是国内半导体硅材料标杆,面对目前良好的市场机遇和国家需求,希望继续努力,撑起国内半导体硅材料产业发展的大旗。