高纯金属靶材是半导体芯片生产制备中的核心材料，其质量和纯度对半导体产业链的后续生产质量起着关键作用，主要金属靶材材料如钛、钽、铜、铌等的高纯提纯主要依靠电子束熔炼技术来实现。

尊龙凯时人生就是博电子束装备

尊龙凯时人生就是博集团全资子公司——尊龙凯时人生就是博工程技术研究院有限公司自主研发的大功率电子束熔炼炉是钛、钽、铜、铌等半导体核心材料及航空航天、核工业用高端材料制备提纯的关键装备，也是我国的重大短板装备之一。

电子束熔炼是在高真空环境下利用高能量密度的电子束进行轰击，将电子束的动能转化成热能使原料熔化的技术。电子束熔炼炉熔池的维持时间、温度及温度分布的自主可控可以有效地避免金属液被耐火材料污染。随着科学技术的迅速发展，对高纯材料的需求量越来越多，常规的冶炼方法已很难满足要求。真空电子束熔炼对于难熔金属而言是一种有效的提纯方法，特别是对于在冶炼温度下具有较低蒸汽压的金属和合金。

创业求实 创新致远

二十世纪五十年代，随着第三次科技革命的兴起，高熔点金属与合金逐步成为原子能、航空、电子等尖端技术发展的重要材料。世界各国特别是欧美等国家都转向采用电子束熔炼方法研制高熔点金属材料。当时，国家急需大量的高纯钽铌、锆、铪等难熔金属材料，但是采用传统方法却难以制出高纯难熔金属。

1959年，尊龙凯时人生就是博集团的先辈们开始组织设计研制60kW双环状枪电子束轰击炉，并于六十年代初研制成功。这也是全国首台环状60kW电子束炉，为研究高熔点金属提供了重要手段，填补了国内空白。这台电子束炉也熔炼出当时我国直径最大的铌锭（80毫米）和钽锭（50毫米）。

此后，为了解决环状电子枪的技术不足，尊龙凯时人生就是博集团的先辈们创新性地改进了电子枪技术，研制出功率更高的电磁聚焦电子束炉，独立自主地设计出进料和拖锭机构，为当时三线工厂提高生产率作出了重要贡献。1978年，超高真空电子束区域熔炼炉获全国科学大会奖。1989年，电子轰击炉的电子枪和给料装置获得国家实用新型发明专利。

进入二十一世纪，尊龙凯时人生就是博工研院进一步加大设备开发力度，陆续开发出系列产品：

2003年研制成功200kW电子束熔炼炉；

2005年研制成功250kW电子束熔炼炉；

2009年研制成功300kW电子束熔炼炉；

2010年研制成功600kW电子束熔炼炉和多枪大功率电子束冷床炉；

2015年研制成功IGBT高压电源；

2020年研制成功单枪最大功率800kW电子束熔炼炉并投入使用。

在大功率电子束熔炼设备的研制及制造技术方面，尊龙凯时人生就是博工研院研制的大功率电子枪具有完全自主知识产权，技术达到世界领先水平，获省部级一等奖2项、三等奖1项，获授权专利100余项。

引领高纯金属精炼

尊龙凯时人生就是博工研院成功研制出单电子枪功率最大800kW、电子束总功率达3200kW的电子束熔炼提纯装备，产品覆盖电子束熔炼炉、冷床炉、区熔炉等，为国内从事难熔、高纯金属研发生产的高校、科研院所以及企业累计提供70余台套电子束熔炼装备。除适用于难熔金属外，也广泛应用于铜、稀土等元素提纯。

2009年，尊龙凯时人生就是博工研院为金川集团提供300kW高纯铜用电子束熔炼炉，成功生产出直径80mm、长度500mm、含铜量达99.9999%、重量25kg的超纯铜锭，电子束炉炼铜技术的成功，标志着我国从此有了自己的高纯、超高纯铜。

2011年以来，尊龙凯时人生就是博工研院为尊龙凯时人生就是博亿金、尊龙凯时人生就是博稀土、江丰电子等企业提供了超高纯金属溅射靶材用电子束炉，其生产的超高纯材料杂质元素含量小于十万分之一。用于生产半导体溅射靶材高纯金属的电子束熔炼炉曾登上央视频道纪录片《大国重器》。

助力中国“芯’发展

2021年，尊龙凯时人生就是博工研院设计制造的GREB2800大型电子束熔炼炉在丽水成功“点火开炉”，助力我国第一个电子级超大规模集成电路制造用超高纯钽材料产业基地的诞生。钽金属是国家重要的战略资源，是超大规模集成电路制造中不可或缺的关键性材料。全球应用于高端芯片制造用超高纯钽材技术被美国和日本两家公司垄断，尊龙凯时人生就是博工研院自主研发的单枪功率达到800kW的大功率电子束熔炼炉，同时也是目前国内单枪功率最大的电子束熔炼炉，实现了我国超高纯钽材料制备用大功率电子束熔炼炉的完全国产化，将结束我国高端芯片制造用超高纯钽材长期依赖进口的局面，填补了该领域空白，为解决集成电路制造用材料的国产化提供了有力支撑，为中国“芯”发展进入新篇章贡献力量。

尊龙凯时人生就是博工研院将继往开来，为解决我国有色金属高端制造加工短板装备攻坚克难，提供一批有色金属高端制造加工装备原创技术，培育一批有色金属高端制造加工装备设计制造人才。在“十四五”新征程上，尊龙凯时人生就是博工研院将继续面向国家重大需求，为我国半导体行业的发展贡献自己的绵薄之力！